型號
型號	ILS50BPP	ILS100BPP	ILS150BPP	ILS200BPP	ILS250BPP
行程范圍	50 mm	100 mm	150 mm	200 mm	250 mm
最大速度	50 mm/s	50 mm/s	50 mm/s	50 mm/s	50 mm/s
最小位移增量	1000 nm	1000 nm	1000 nm	1000 nm	1000 nm
中心負載能力	250 N	250 N	250 N	250 N	250 N
軸向負載 (+Cx)	40 N	40 N	40 N	40 N	40 N
逆軸向負載能力 (-Cx)	-40 N	-40 N	-40 N	-40 N	-40 N
精度，典型值	±0.6 µm	±0.8 µm	±1.5 µm	±1.2 µm	±1.7 µm
精度，保證值	±1.5 µm	±2.0 µm	±2.5 µm	±3.75 µm	±5.0 µm
單向重復(fù)精度，典型值	±0.20 µm	±0.25 µm	±0.25 µm	±0.35 µm	±0.35 µm
單向重復(fù)精度，保證值	±0.50 µm	±0.50 µm	±0.50 µm	±0.5 µm	±0.5 µm
雙向重復(fù)精度，典型值	±0.40 µm	±0.45 µm	±0.45 µm	±0.55 µm	±0.60 µm
雙向重復(fù)精度，保證值	±1.0 µm	±1.0 µm	±1.0 µm	±1.0 µm	±1.0 µm
俯仰，典型值	±15 µrad	±20 µrad	±37 µrad	±75 µrad	±42 µrad
俯仰，保證值	±25 µrad	±50 µrad	±75 µrad	±100 µrad	±125 µrad
俯仰順應(yīng)性	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm
偏擺，典型值	±12 µrad	±17 µrad	±20 µrad	±25 µrad	±25 µrad
偏擺，保證值	±25 µrad	±37 µrad	±65 µrad	±80 µrad	±95 µrad
偏擺順應(yīng)性	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm
滾轉(zhuǎn)順應(yīng)性	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm
原點重復(fù)精度	±0.5 µm	±0.5 µm	±0.5 µm	±0.5 µm	0.5 µm
電纜長度	3 m	3 m	3 m	3 m	3 m
螺紋類型 1	2001-4-20	2001-4-20	2001-4-20	2001-4-20	2001-4-20
重量	4.2 kg	4.5 kg	4.8 kg	5.1 kg	5.4 kg
MTBF	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)

注釋:

公制 M- 版本可供選擇。

ILS 中行程鋁步進電機線性平移臺特征

經(jīng)濟型微米步進電機

對于要求不高的應(yīng)用，步進電機可能是比直流電機更經(jīng)濟的解決方案。步進電機使用磁吸和排斥的基本原理進行操作，將數(shù)字脈沖轉(zhuǎn)換為機械軸的旋轉(zhuǎn)。為了提高運動的分辨率和平滑度，這些階段均具有微米步距功能，這是一種將運動的完整步長以電子方式劃分為大量局部步長的方法。

微步進電機基本工作原理

ILS Stage Motor Options

ILS Series stages are available with the following motors:

●Stepper Motor (ILS-BPP) - For less demanding applications, a stepper motor can be a more economical solution than a DC motor.

●High-torque DC motor (ILS-CC) - Best characterized by their high speeds, smooth motion, good efficiency and a high power/weight ratio, DC motors are preferable to stepper motor stages for applications requiring high dynamic speed and tight repeatability.

●Linear Motor (ILS-LM) - The ILS-LM employs a centered, high efficiency 3-phase, synchronous ironless, linear motor. This drive system is noise-free and provides higher speed, acceleration and system responsiveness without the wear associated with motor brushes or drive screws.

	ILS-CC (DC Motor)	ILS-BPP (Stepper Motor)	ILS-LM (Linear Motor)
Travel Range (mm)	50 / 100 / 150 / 200 / 250	50 / 100 / 150 / 200 / 250	100 / 200 / 300
Maximum Speed (mm/s)	100	50	500
Minimum Incremental Motion (nm)	1000	1000	10
Uni-directional Repeatability, Guaranteed (µm)	±0.5	±0.5
Bi-directional Repeatability Guaranteed (µm)	±1.00	±1.0	±0.3
Accuracy, Guaranteed (µm)	±1.5 / ±2.0 / ±2.5 / ±3.75 / ±5.0	±1.5 / ±2.0 / ±2.5 / ±3.75 / ±5.0	±1.5 / ±2.0 / ±2.5

FEM - 優(yōu)化的鋁制機身

有限元法（FEM）用于優(yōu)化ILS系列舞臺鋁制車體的結(jié)構(gòu)設(shè)計，從而在不降低重量的情況下實現(xiàn)很高的剛度并大程度地減少了雙金屬彎曲。剛體設(shè)計減少了載荷下的撓曲，從而在鋁制載物臺設(shè)計中實現(xiàn)了最高的性能。還提供了FEM優(yōu)化的IMS平臺，可提供更長的行程范圍，更高的負載能力和更大的移動平臺。

改善工作性能的旋轉(zhuǎn)編碼器

步進電機通常是開環(huán)運行，其位置取決于命令的步數(shù)和微米步徑。在要求的扭矩和速度范圍內(nèi)使用時，此功能可靠地工作。但是，步進電機的運動超出其要求范圍將變得不可預(yù)測。為避免螺絲/電機耦合錯誤，這些級的位置測量值應(yīng)以4000 cts / rev的速度讀取。旋轉(zhuǎn)編碼器直接位于螺釘上。