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560產(chǎn)品描述
CONEX-AG-GON 系列為壓電電機(jī)驅(qū)動(dòng)的測(cè)角架，與閉環(huán)壓電電機(jī)控制器/驅(qū)動(dòng)器相集成。它使用帶有內(nèi)置編碼器的壓電電機(jī)，能夠?qū)崿F(xiàn)高位置可重復(fù)性。 高度可重復(fù)的角運(yùn)動(dòng) 高靈敏度 (MIM) 尺寸緊湊 價(jià)格合理，快速交付 集成且易于設(shè)置
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535產(chǎn)品描述
針對(duì)翻轉(zhuǎn)和傾斜應(yīng)用，BG 系列測(cè)角儀支持開放式施加負(fù)載。當(dāng)兩個(gè) BG 平移臺(tái)堆疊在一起時(shí)，樣品將圍繞公共樞轉(zhuǎn)點(diǎn)旋轉(zhuǎn)。 ±45° 橫軸旋轉(zhuǎn)，能夠盡可能自由接近旋轉(zhuǎn)平臺(tái) 堆疊托架，可實(shí)現(xiàn)圍繞同一樞軸點(diǎn)的正交旋轉(zhuǎn) 精密機(jī)加工的滾珠軸承座圈，可確保平穩(wěn)運(yùn)動(dòng)和高度穩(wěn)定性 精密磨光蝸桿傳動(dòng)裝置可提供 0.002° MIM 真空兼容版本，最高可達(dá) 10-6 hPa
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492產(chǎn)品描述
對(duì)于傾斜和傾斜應(yīng)用，BG系列測(cè)角儀允許打開負(fù)載。當(dāng)兩個(gè)BG工作臺(tái)堆疊在一起時(shí)，樣品圍繞一個(gè)共同的樞軸點(diǎn)旋轉(zhuǎn)。這些步進(jìn)電機(jī)測(cè)角儀適用于需要更高輸出扭矩的應(yīng)用。也可提供高達(dá)10-6hPa的真空兼容版本。
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709產(chǎn)品描述
RGA 薄型高速旋轉(zhuǎn)臺(tái)非常適合需要低質(zhì)量和大孔徑的工業(yè)應(yīng)用，但需要快速和精確地旋轉(zhuǎn)晶圓卡盤等樣品架。 快速旋轉(zhuǎn)、薄型、大光圈 高重復(fù)性 低擺動(dòng)和低偏心率 高扭矩和高加速度 全鋼結(jié)構(gòu)，具有高剛度和熱穩(wěn)定性 即插即用 ESP 兼容性
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458產(chǎn)品描述
RGV 可用于半導(dǎo)體晶片檢測(cè)、微型機(jī)器人、精密計(jì)量和運(yùn)動(dòng)模擬器等應(yīng)用，特別適用于 MEMS、陀螺儀和加速度計(jì)測(cè)試。 直接驅(qū)動(dòng)可以實(shí)現(xiàn)高達(dá) 1000 deg/s 的優(yōu)異速度，而且可靠性高。 大直徑、鋼制滾珠軸承，剛度高、擺動(dòng)低以及載重能力高。 精密玻璃標(biāo)度編碼器可以實(shí)現(xiàn)高位置重復(fù)性、MIM 和高精度。 高扭矩直流無(wú)刷電機(jī)，最大扭矩為 112 Nm。
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